真空退火炉是广泛应用于工业领域的炉型。由于其工艺流程简单、效率高，因此具有广泛的应用前景。其工艺流程包括哪些方面。
1。加热过程中的低真空压力变化，可借助中性气体迅速排除炉内空气，然后用少量有机液体或液化气体去除炉内残留的氧气和水蒸气，从而实现较少工件的非氧化加热。与传统的可控气氛退火炉相比，辅助材料消耗降低了50%以上。
2.在化学热处理过程中，渗透剂可借助低真空压力变化定向流动。在快速消除工件周围的老化气氛后，新鲜的渗透剂将迅速扩散到炉内的各个部位，工件上的气孔、盲孔和压制面可获得满意的渗透层，从而实现工件的致密化生产。
3。单元素炉气可快速转化为双元素多元共渗气氛，并可精确控制质量和数量。质量控制是控制炉气各组分的百分比，数量控制是控制炉气的总压力。由于多种元素同时渗透的相互促进，渗透速度加快，工艺周期显著缩短。
